理研計(jì)器永久的目標(biāo)

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用于C4F6?C5F8?COS的檢測(cè)器 TP-70DGⅡ

特征

通過采用含有催化劑的熱分解器，實(shí)現(xiàn)減少干擾帶來的影響
單觸式的傳感器更換方式
搭載新型智能化傳感器
采用易于觀察的大型字符LCD
搭載流量自動(dòng)調(diào)整功能

用途

用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠內(nèi)的C4F6/C5F8/COS
用于對(duì)儲(chǔ)氣瓶存放柜及半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行檢測(cè)
用于無(wú)塵室內(nèi)的環(huán)境監(jiān)測(cè)

商品目錄

產(chǎn)品類別

固定式

類型

智能型檢測(cè)部

檢測(cè)對(duì)象氣體

C4F6/C5F8/COS

檢測(cè)原理

催化＋定電位電解式

檢測(cè)范圍

0～5ppm（C4F6?C5F8）
0～15ppm（COS）

報(bào)警設(shè)定值

1st：2ppm/2nd:4ppm（C4F6?C5F8）
1st：5ppm/2nd:10ppm（COS）

檢測(cè)方式

泵吸式

報(bào)警種類

氣體報(bào)警/故障報(bào)警

報(bào)警內(nèi)容

1st：ALM1指示燈閃爍、或亮燈(紅色)
2st：ALM2指示燈閃爍、或亮燈(紅色)

電源

AC100～240V±10%

外形尺寸?重量

約180(W)×225(H)×285(D)mm（不包含突起部分）
約6.0kg

使用時(shí)的溫濕度范圍

20～40℃（無(wú)驟變）
40～70%RH（無(wú)結(jié)露）