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用于C4F6?C5F8?COS的檢測(cè)器 TP-70DGⅡ
特征
通過采用含有催化劑的熱分解器,實(shí)現(xiàn)減少干擾帶來的影響用途
用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠內(nèi)的C4F6/C5F8/COS商品目錄
產(chǎn)品類別 |
固定式 |
類型 |
智能型檢測(cè)部 |
檢測(cè)對(duì)象氣體 |
C4F6/C5F8/COS |
檢測(cè)原理 |
催化+定電位電解式 |
檢測(cè)范圍 |
0~5ppm(C4F6?C5F8) |
報(bào)警設(shè)定值 |
1st:2ppm/2nd:4ppm(C4F6?C5F8) |
檢測(cè)方式 |
泵吸式 |
報(bào)警種類 |
氣體報(bào)警/故障報(bào)警 |
報(bào)警內(nèi)容 |
1st:ALM1指示燈閃爍、或亮燈(紅色) |
電源 |
AC100~240V±10% |
外形尺寸?重量 |
約180(W)×225(H)×285(D)mm(不包含突起部分) |
使用時(shí)的溫濕度范圍 |
20~40℃(無(wú)驟變) |